Ultrapräzisionsmechatronik

Komponenten für mechatronisches Gesamtsystem

Ultrapräzision in Bewegung - Präzisionslager, ultrapräzise Antriebe, Aktuatoren, deformierbare Spiegel. Wir fertigen nicht nur ihre Komponenten, sondern montieren sie zu einem mechatronischen Gesamtsystem. Auch hier sind wir für mittlere bis große Stückzahlen optimal ausgelegt. Ob Polygonscanner für die Messtechnik, ob Aktuatoren z. B. für die Halbleitertechnik, ob verstellbare Optiken - unsere Ultrapräzisions- und Reinraum-Montagekapazitäten werden immer wieder kundengerecht erweitert und neu "justiert". Unsere Spezialisten definieren immer wieder prozesssichere Abläufe.

Zielgruppe

- Aktuatoren für die Halbleiterindustrie
- Polygonscanner für Medizin- und Umwelttechnik
- verstellbare Spiegel für Hochleistungslaser

Erfahrung / Kompetenz

Mehr als 35 Jahre Ultrapräzisionsmaschinenbau – Kugler weiß, wie man Achsen antreibt, regelt und misst, Kugler weiß, auf welche Ablaufparameter es bei mechatronischen Systemen ankommt. Nur eine zitterfreie Bewegung erlaubt ein geringes Rauschen in der Anwendung, nur ein präziser Ablauf der Aktuatoren ermöglicht hohe Genauigkeiten später im Betrieb. Erfahrung gepaart mit umfangreichen optischen, mechanischen und elektronischen Messmitteln, neueste Hilfsmittel für die prozesssichere Durchführung der Herstellungs- und Montageschritte – all das führt dazu, dass wir unseren Kunden bei der Umsetzung seiner Erfordernisse im Bereich von Ultrapräzisionsmechatronik bestmöglich und kostengünstig unterstützen können.

Aktuator zur Waferbewegung

Im Zentrum stehen Kugler-Ultrapräzisionskomponenten, diese werden verbaut mit Magneten, Spulen, Temperaturfühlern, Encodern. Am Ende erhält man kompakte Linearaktuatoren auf Luftlagerbasis oder mit Festkörpergelenken. Anwendung: Die Bewegung von Wafern im Waferstepper, die Positionierung des gesamten Wafertisches. Submikrometertoleranzen sind selbstverständlich, höchste Partikelfreiheit ist garantiert! Auch hier bieten wir unseren Service für unterschiedlichste Stückzahlen an – je nach Kundenbedarf.

Spindeln für Polygonscanner

Sortieren, messen oder bearbeiten – unsere Polygonscanner HSPP werden, versehen mit dem richtigen Polygon, zum idealen Baustein in Anlagen unserer Kunden. Wie bei einem linearen Aktuator ist das Herzstück die Lagereinheit, versehen mit Motoren, Encodern und weiteren Sensoren. Hier ist die Aktion eine Drehbewegung, und damit rotiert der montierte Scanspiegel. Viele Hundert solcher “Polygonscanner” setzen unsere Kunden jedes Jahr ein, um Lebensmittel zu sortieren oder um das Recyclen von Verpackungsbestandteilen zu überwachen!

Spindeln für Polygonscanner

Adaptive Spiegel

Der Laser trifft nicht richtig – unsere adaptiven Spiegel “helfen nach”: Überall, wo mit starken Multi-Kilowatt-Lasern gearbeitet wird, werden unsere Spiegel eingesetzt, um wärmebedingte Effekte zu kompensieren, um Strahlwege auszugleichen, um Bearbeitungsprozesse dynamisch zu optimieren. Pneumatisch angesteuert, elektrisch geregelt. Auch hier gilt: Wir fertigen nicht nur unsere “eigenen” adaptiven Spiegel, wir fertigen, bearbeiten, montieren und qualifizieren gerade auch nach Kundenvorgabe!