Interferometrische Formmessung

Interferometrische Formmessung

Als erfolgreicher Interferometerhersteller belieferte Kugler die optische und die Halbleiterindustrie weltweit bis ins Jahr 2002 mit Geräten zur Formmessung. Ebenheitsmessungen von Bauteilen bis 300 mm Durchmesser, Radienmessungen im Bereich von 0,2 mm bis zu 100 m oder die Messung von Parabolspiegeln und elliptischen Reflektoren werden mit diesen Geräten mit Genauigkeiten im Submikrometer- oder sogar im Nanometerbereich unkompliziert durchgeführt. Heute verfügt Kugler über mehr als 20 Interferometer – nicht nur zur Entwicklung und Qualitätssicherung der eigenen Produkte, sondern vor allem auch für die Vermessung von optischen und präzisionsmechanischen Bauteilen unserer Kunden.

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