Interferometrie

Interferometrie

Kugler fertigte Interferometer von 1983 bis 2002 – Wir wissen immer noch, wie man damit misst. Ob Form, Rauheit oder Winkel, wir sind dabei – ab wenigen Nanometern.

Interferometrische Formmessung

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Planspiegel, sphärische Flächen, Parabeln: Berührungslose Formmessungen ab 30 nm Genauigkeit...

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Rauheit

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Interferometrische Rauheitsmessungen an spiegelnden Flächen: Auflösung im Sub-Angstrom-Bereich...

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Winkelbestimmung

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