Halbleiterbelichter

Halbleiterbelichter

Vakuumspannplatten für Halbleiterwafer („Chucks“), Miniaturluftlager für die Nanometer-Positionierung in Wafer-Belichtern, Bauteile für Objektive und für die Laserstrahlführung - in der hier geforderten Genauigkeitsklasse steht mit der Ultrapräzisionsbearbeitung von Kugler eine Technologie zur Verfügung, die äußerst wirtschaftliche Lösungen ermöglicht.

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