Halbleiterbelichter

Vakuumspannplatten für Halbleiterwafer („Chucks“), Miniaturluftlager für die Nanometer-Positionierung in Wafer-Belichtern, Bauteile für Objektive und für die Laserstrahlführung - in der hier geforderten Genauigkeitsklasse steht mit der Ultrapräzisionsbearbeitung von Kugler eine Technologie zur Verfügung, die äußerst wirtschaftliche Lösungen ermöglicht.