Drehbearbeitung

Drehbearbeitung

Klassisches „Diamantdrehen“ - optimiert für wirtschaftliche Laseroptiken oder auch für die Halbleiterfertigung.

Diamantdrehen ist das Drehen von Metallbauteilen mit Diamant-Werkzeugen auf luft- oder hydrostatisch gelagerten, extrem vibrationsfrei ablaufenden Bearbeitungsmaschinen.
Die gefertigten Optiken werden in „On-Axis-„ und „Off-Axis“-Bauteile unterschieden.
Während bei „On-Axis“ das Drehzentrum in der Mitte des Spiegels liegt, können aufgrund des Achsversatzes bei „Off-Axis“ meist mehrere Optiken gleichzeitig und damit sehr wirtschaftlich hergestellt werden.
Um die Oberflächenqualität weiter zu verbessern, setzt Kugler nach Möglichkeit Drehprozesse nach dem „R-Theta“-Prinzip ein:

Dabei wird das Werkzeug nicht mit zwei senkrecht aufeinander stehenden Linearachsen bewegt. Stattdessen wird ein in der Länge variabler Arm („R“) mit dem Schneiddiamanten auf einer Kreisbahn („Theta“) über die auf der luftgelagerten Hauptspindel befestige Optik geführt. Die piezoelektrisch eingestellte „Armlänge“ wird laserinterferometrisch überwacht.

Neben Laserspiegeln werden viele Metallspiegel für Spektrometer und optische Messgeräte im Infrarotbereich, die unter extremen Bedingungen eingesetzt werden (Weltraum, Luftfahrt) auf Diamantdrehmaschinen gefertigt. Die Verwendung von Metall erlaubt die einfache Integration von Halterungen, Kühlsystemen und Justierhilfen in einem Bauteil.

Bilder

 
Typische Anwendungen
  • Fokussierspiegel für Laser
  • Integratorspiegel für Laser
  • Luftlagerkomponente für Waferstepper
 
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