
Microgantry® nano5X für die spanende Mehrachs-Mikrobearbeitung

Oberflächen-Strukturierung eines beschichteten Halbleiterwafers mit einem schnell drehenden Werkzeug

Formeinsatz für ein Mikrozahnrad
Fräsen mit der KUGLER Microgantry® nano5X: luftgelagerte Submikrometer-Präzision mit kleinsten Werkzeugen.
Das "Arbeitspferd“ der KUGLER Mikrobearbeitung: die 4-Achs-Bearbeitungsmaschine Microgantry® nano5X mit luftgelagerten Achsen und präzisen Linearantrieben. Ausgerüstet mit einer Hochfrequenzspindel (bis 200.000 U/min), einem Werkzeugmess- und Wechselsystem für kleinste Fräs- und Bohrwerkzeuge und einem integrierten 3D-Messtaster, ermöglicht dieses System komplexe 2,5D-Bearbeitungen hauptsächlich in Buntmetallen mit Submikrometer-Genauigkeit. Die Bauteilgrößen können im Bereich von wenigen Kubikmillimetern bis hin zu einer Fläche von mehr als 200 mm x 200 mm variieren.
Berührungslos optische Taster zur Qualitätsüberwachung, angepasste Spannvorrichtungen zur deformationsarmen Aufnahme der Werkstücke sowie die bearbeitungsgerechte Umsetzung der CAD-Daten jedes Mikrobauteils durch die erfahrenen Ingenieure von KUGLER vervollständigen die Prozesskette zur Herstellung eines Mikrobauteils.